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洁净干燥箱(无尘烘箱)

更新时间:2019-09-23

简要描述:

洁净干燥箱(无尘烘箱)系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

一.洁净干燥箱(无尘烘箱)特点:

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100

2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避

免烘烤时产生 PARTICLE; 

4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)

二.执行与满足标准

1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件

2.GB2423.2-1989试验B

三.用途

无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

四.产品技术参数

1.名称及型号:洁净干燥箱(无尘烘箱)JJHX-2D

2.主要技术指标:

无尘等级

Class 100

温度范围

60~ +300℃

温度均匀度

200℃±3℃、300℃±4℃

温度波动度

±0.5℃(空载)

温控精度

±0.1℃

烘箱搁板

为活动形式 (两箱式)

电源

380v , 50Hz,12Kw

3、箱体结构:

●烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;

●全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;

●箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;

●内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;

●中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。

4、温控系统

●采用日本OMRON E5A型温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。;

●讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。

●输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。

5、完善的安全保护措施:

●漏电断路器、

●控制线路保险丝装置、

●超温防止保护装置、

●电热过电流保护装置、

●马达过电流保护、

●机台异常蜂鸣器警示

●逆向防止器、

●门面安全开关

6、选购设备:

●可程式温控器

●六点温度记录仪

●三色指示灯

●烘烤架

 

超泓公司具有良好的市场信誉,专业的销售和技术服务团队,迎得了国内外厂商的认可,欢迎联系涵洽谈交流!

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