产品中心您现在的位置:首页 > 产品展示 > 干燥箱系列 > 洁净干燥箱/无尘烘箱 > HMDS涂胶机(无尘干燥箱)

HMDS涂胶机(无尘干燥箱)

更新时间:2020-03-23

简要描述:

HMDS涂胶机(无尘干燥箱)可以降低HMDS处理后的硅片接触角,进而降低匀胶时光刻胶在硅片表面铺展开的难度,提高光刻胶与硅片的黏附性,降低光刻胶的用量。

HMDS涂胶机(无尘干燥箱)

HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

HMDS涂胶机产品特点:

●机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
●箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
●微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。
●智能化触摸屏控制系统配套PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。
●HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。
●HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。
●低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)
●温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)
●整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316医用专用不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)

HMDS涂胶机(无尘干燥箱)产品参数:
●内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
●载物托架:2块
●室温+10℃-250℃控温范围:温度分辨率:0.1℃温度波动度:±0.5℃
●真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,
●加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)
●可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。
●开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为常规降温);

 上海超泓是研发,生产,销售,服务于一体的领导厂商,是中国实验室设备的主要单位,是中国仪器仪表协会、工业自动化仪表协会会员。

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
上海超泓仪器设备有限公司

地址:上海市奉贤区南桥镇军民路158号

上海超泓仪器设备有限公司(www.chao17.com)主营:检定槽,二氧化碳摇床,低温恒温反应浴

备案号:沪ICP备19035753号-1  总访问量:40519  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

18901930098

021-31261206